TY  - GEN
AU  - Schwierz, Frank 
AU  - Wong, Hei 
AU  - Liou, Juin J 
TI  - Nanometer CMOS 
SN  - 9789814241083 (hb)
U1  - 621.39732 SCH/Nan  
PY  - 2010///
CY  - Singapore
PB  - PAN Stanford publishing
KW  - MOSFETS
KW  - Plasma Etching
KW  - Lithography
N1  - Include appendix references index
ER  -